EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是最受欢迎的泵,可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。
应用
· 半导体制程
· 真空蒸馏
· 真空包装
· 钢脱气
· 薄膜覆层
· 真空冶金
· 低密度风洞
· 空间模拟
· 真空浸渍
· 油干燥和脱气
· 制药冷冻干燥
· CO2 激光
功能和优势
· 适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
· 它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
· EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:
o 安静的无振动运行。
o 牢靠且防腐蚀。
o 先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染
· 防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
· 经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到最低。
· 轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
· 动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。
技术数据
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EH250
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EH500
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EH1200
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EH2600
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EH4200
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排量(工作容积)
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310 m3h-1 / 185 ft3min-1
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505 m3h-1 / 300 ft3min-1
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1195 m3h-1 / 715 ft3min-1
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2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1
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4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1
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使用前级泵时的有效抽速
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240 m3h-1 / 141 ft3min-1
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350 m3h-1 / 206 ft3min-1
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840 m3h-1 / 495 ft3min-1
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1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1
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3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1
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泵的压力差
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0-180 mbar/0-140 Torr
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0-110 mbar/0-83 Torr
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0-90 mbar/0-68 Torr
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0-80 mbar/0-60 Torr
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0-60 mbar / 0-45 Torr
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进气口连接
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ISO63
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ISO100
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ISO160
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ISO160
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ISO250
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出口连接
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ISO40
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ISO63
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ISO100
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ISO100
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ISO100
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转速
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0-2900 rpm
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0-2900 rpm
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0-2900 rpm
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0-2900 rpm
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0-2900 rpm
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连续进气口工作压力
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0-1000 mbar/0-760 Torr
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0-1000 mbar/0-760 Torr
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0-1000 mbar/0-760 Torr
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0-1000 mbar/0-760 Torr
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0-1000 mbar/0-760 Torr
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最大出口压力
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1000 mbar/760 Torr
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1000 mbar/760 Torr
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1000 mbar/760 Torr
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1000 mbar/760 Torr
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1000 mbar/760 Torr
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推荐的前级泵
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GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80
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GV80,E2M80
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GV160、GV250、
E2M80、E2M175
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GV250、GV400、
E2M175、E2M275
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GV400、E2M275
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电机功率
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碳氢化合物
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2.2 kW / 3 hp
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2.2 kW/3 hp
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3 kW/4 hp
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11 kW/15 hp
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11 kW/15 hp
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PFPE
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1.5 kW / 2 hp
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1.5 kW/2 hp
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3 kW/4 hp
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7.5 kW/10 hp
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11 kW/15 hp
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ATEX
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2.2 kW
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2.2 kW
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3 kW
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11 kW
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11 kW
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防爆
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3 hp
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3 hp
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4 hp
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15 hp
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15 hp
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环境温度范围
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工作
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5 至 40°C/40 至 104°F
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5 至 40°C/40 至 104°F
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5 至 40°C/40 至 104°F
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5 至 40°C/40 至 104°F
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5 至 40°C/40 至 104°F
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存储
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-10 至 80°C/14 至 176°F
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-10 至 80°C/14 至 176°F
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-10 至 80°C/14 至 176°F
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-10 至 80°C/14 至 176°F
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-10 至 80°C/14 至 176°F
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最大工作湿度
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90% RH
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90% RH
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90% RH
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90% RH
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90% RH
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推荐用油
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Ultragrade 20
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Ultragrade 20
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Ultragrade 20
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Ultragrade 20
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Ultragrade 20
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油容量
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齿轮箱
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1.25 l/1.3 qt
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3.5 l/3.3 qt
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3.5 l/3.3 qt
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联轴器盖
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1.5 l/1.6 qt
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1.5 l/1.6 qt
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1.5 l/1.6 qt
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6.5 l/7 qt
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6.5 l/7 qt
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轴封储油器
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0.125 l/0.25 qt
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0.125 l/0.25 qt
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0.125 l/0.25 qt
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1.5 l/1.4 qt
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1.5 l/1.4 qt
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重量
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61 kg/134 lb
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74 kg/163 lb
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74 kg/163 lb
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308 kg/679 lb
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400 kg / 882 lb
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